Ángulo de la inclinación de la sección de los pies, grados | 45 |
Distancia de funcionamento,mm | 17 |
Movimiento horizontal de la tabla: alcance de escaneo (mm) | 12 |
Tiempo de exploración, c | 100 |
Resolución lateral, μ | 20 |
Resolución axial, μ | 2.6µm |